Originalspråk | engelska |
---|---|
Titel på värdpublikation | Precursors for ALD processes |
Utgivningsdatum | 2012 |
ISBN (tryckt) | 978-3-527-32797-3 |
Status | Publicerad - 2012 |
Externt publicerad | Ja |
MoE-publikationstyp | A3 Del av bok eller annan forskningsbok |
Utrustning
-
HelsinkiALD
Putkonen, M. (Chef), Ritala, M. (Chef), Mäntymäki, M. (Operatör), Kemell, M. (Operatör), Vehkamäki, M. (Operatör) & Heikkilä, M. (Operatör)
Avdelningen för kemiUtrustning/facilitet: Forskningslaboratorium