Precursors for ALD processes, In: Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials

Forskningsoutput: Kapitel i bok/rapport/konferenshandlingKapitelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Titel på värdpublikationPrecursors for ALD processes
Utgivningsdatum2012
ISBN (tryckt)978-3-527-32797-3
StatusPublicerad - 2012
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypA3 Del av bok eller annan forskningsbok

Citera det här