Properties of AlN Film Grown by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

M. Bosund, Matti Putkonen, T. Sajavaara, M. Laitinen, T. Huhtio, V-M. Airaksinen, H. Lipsanen

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2011
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här