Pushing the limits of plasma ALD conformality

Matti Putkonen, M. Kariniemi, J. Niinistö, M. Vehkamäki, M. Kemell, M. Ritala, M. Leskelä, E.J. Karwacki, I. Buchanan

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2011
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här