Quantifying height of machined steps on copper disk using Fourier domain short coherence interferometer

Forskningsoutput: TidskriftsbidragKonferensartikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
TidskriftProceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering
Volym9525
Antal sidor7
ISSN0277-786X
DOI
StatusPublicerad - 2015
MoE-publikationstypA4 Artikel i en konferenspublikation
EvenemangSpie optical metrology / optical measurement systems for industrial inspection - Munich, Tyskland
Varaktighet: 22 jun 201525 jun 2015
Konferensnummer: IX

Vetenskapsgrenar

  • 114 Fysik

Citera det här