Reaction Mechanism Studies on ZrO2 Grown by ALD - A Comparison Between ZrCl4 and Cp2ZrMe2 Based Processes

A Rahtu, Jaakko Niinistö, Matti Putkonen, Lauri Niinistö, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Forskningsoutput: Bok/rapportBeställd rapport

Originalspråkengelska
StatusPublicerad - 2004
Externt publiceradJa
MoE-publikationstypD4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller studie

Citera det här