Selective gas phase pulsed etching of oxides with NbCl₅

Juha Ojala, Marko Vehkamaeki, Mykhailo Chundak, Anton Vihervaara, Kenichiro Mizohata, Mikko Ritala

Forskningsoutput: Tidskriftsbidrag › Artikel › Vetenskaplig › Peer review

1 resultat
- Titel(fallande)

Helsinki Accelerator Laboratory
Tuomisto, F. (Chef) & Helariutta, K. (Annat)
Avdelningen för fysik
Utrustning/facilitet: Forskningslaboratorium