Structure and Morphology of Ru Films Grown by Atomic Layer Deposition from 1-ethyl-1’-methyl-ruthenocene

Kaupo Kukli, Jaan Aarik, Aleks Aidla, Teet Uustare, Indrek Jõgi, Jun Lu, Massimo Tallarida, Marianna Kemell, Alma-Asta Kiisler, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
TidskriftJournal of Crystal Growth
Volym312
Utgåva12-13
Sidor (från-till)2025-2032
Antal sidor8
ISSN0022-0248
DOI
StatusPublicerad - 2010
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi

Citera det här