Studies on solid state reactions of atomic layer deposited thin films of lithium carbonate with hafnia and zirconia

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
Artikelnummer020929
TidskriftJournal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Volym37
Utgåva2
Antal sidor8
ISSN0734-2101
DOI
StatusPublicerad - mar 2019
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 114 Fysik
  • 116 Kemi

Citera det här