Studies on Thermal Atomic Layer Deposition of Silver Thin Films

Maarit Mäkelä, Timo Hatanpää, Kenichiro Mizohata, Kristoffer Meinander, Jaakko Niinistö, Jyrki Räisänen, Mikko Ritala, Markku Leskelä

Forskningsoutput: TidskriftsbidragArtikelVetenskapligPeer review

Originalspråkengelska
TidskriftChemistry of Materials
Volym29
Utgåva5
Sidor (från-till)2040-2045
Antal sidor6
ISSN0897-4756
DOI
StatusPublicerad - 14 mar 2017
MoE-publikationstypA1 Tidskriftsartikel-refererad

Vetenskapsgrenar

  • 116 Kemi
  • 114 Fysik

Citera det här